Galvenais daudzpunktu BF termopārs

Oksidācijas difūzijas krāsns ir galvenais procesa aprīkojums PV šūnu ražošanai. Tas sajauc un izkliedē bora, fosfora un citu elementu daudzumu uz silīcija vafeļu augstā temperatūrā, lai sagatavotu PN krustojumus un no tā sastādītu integrētas shēmas.

Produktu apraksts

Ir ierasts izmantot termopārus, kas mēra gan krāsns iekšējās, gan ārējās daļas, lai kontrolētu difūzijas krāsns iekšējo temperatūru, kas varētu veikt oksidācijas procesu. Katrā norādītajā temperatūras zonā ir ārējais un iekšējais termopārs, lai pārliecinātos, ka mēra rezultāti ir ticami. Iekšējos termopārus izmanto, lai izmērītu vafeļu temperatūru, tam parasti ir 3 ~ 9 mērīšanas punkti, kas precīzi atspoguļo vafeles temperatūru. Ārējie termopāri tiek izmantoti, lai izjustu krāsns caurules ārējo virsmu, katram parasti ir tikai viens vadu pāris, lai iegūtu netiešu krāsns mērījumu. Parasti oksidācijas procesa temperatūra ir zemāka par difūzijas procesu, tādējādi var izmantot K un N tipa galveno daudzpunktu BF termopāru.

Tehniskie parametri	Galvenais daudzpunktu BF termopārs
Tehniskie parametri	Iekšpuse
Ierakstīt	K,N
Stieples vai mims diametrs	φ2~4
Darba temperatūra (grāds)	0~950
Precizitāte (grāds)	± 1,5 vai 0. 4%· t
Aizsardzības caurules garums (mm)	Mazāk vai vienāds ar 4000
Aizsardzības caurules diametrs (mm)	φ14~22
Aizsardzības caurules materiāls	310s vai 321
Karstā gala struktūra	Izolēts
Punktu skaits	3 ~ 9 punkti
Izbeigšana	Mazs savienotājs
Kompensācijas vads	Kx (nx) {{0}} × 0,5fpf
Struktūras īpašības	Viegli izjaukt, ja nepieciešams, t/c jebkuram punktam var noņemt